刻度分划

每0.025毫米

基板材料

钠钙浮法玻璃

厚度

1.5毫米标称

表面质量

20:10

平整度

3-4波长/英寸

框架材料

黑色阳极氧化铝

框架尺寸

114.3 x 50.8毫米±0.100毫米

入射角

45°

线宽与点径公差

版1：±0.00025毫米

版2：±0.0005毫米

等级号

圆直径

划痕尺寸（µm）

频率块（lp/mm）

网格块线宽（µm）

网格块线间距（µm）

0.004

4.5

1 x 16

500

1

4.5

0.006

7

1.6 x 25

312.5

1.6

7

0.010

11

2.5 x 40

200

2.5

11

0.016

18

4 × 63

125

4

18

0.025

28

6.3 × 100

80

6.3

28

0.040

45

10 × 60

50

10

45

等级号

圆直径

划痕尺寸（µm）

频率块（lp/mm）

网格块线宽（µm）

网格块线间距（µm）

0.040

45

10 × 160

50

10

45

0.060

70

16 × 225

31.25

10

70

0.100

110

25 × 400

20

10

110

0.160

180

10 × 630

12.5

10

180

0.250

280

63 × 1000

8

10

280

0.400

450

100 × 1600

5

10

450