基板

熔融石英

厚度

1.6毫米

平面度

2 λ

表面质量

40-20

涂层

反射式

真空沉积耐用铬，密度 >3.0

透射式

荧光材料 - 最大激发波长 @ 365nm，最大发射波长 @ 550nm

最小分辨率

适用于2英寸方形尺寸：组0，元件1

适用于3英寸方形尺寸：组-2，元件1

最大分辨率

适用于标准：组7，元件6

适用于高分辨率：组9，元件3

元素

组号

仅适用于高分辨率

-2

-1

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

1

0.250

0.500

1.00

2.00

4.00

8.00

16.00

32.0

64.0

128.0

256.0

512.0

2

0.280

0.561

1.12

2.24

4.49

8.98

17.95

36.0

71.8

144.0

287.0

575.0

3

0.315

0.630

1.26

2.52

5.04

10.10

20.16

40.3

80.6

161.0

323.0

645.0

4

0.353

0.707

1.41

2.83

5.66

11.30

22.62

45.3

90.5

181.0

362.0

—

5

0.397

0.793

1.59

3.17

6.35

12.70

25.39

50.8

102.0

203.0

406.0

—

6

0.445

0.891

1.78

3.56

7.13

14.30

28.50

57.0

114.0

228.0

456.0

—