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IPEX 700  系列准分子激光器

IPEX 700 系列准分子激光器

恒定脉冲能量:采用exciPure技术的IPEX-740/760系列准分子激光器,在单次换气后都具有优秀的动态和静态气体寿命。从单次到最大重复频率,脉冲能量在所有重复频率都恒定。这种方法保证了参数不会随激光器工作时间和重复频率的变化而改变。

恒定脉冲稳定性:采用先进的能量监测方式来调节脉冲能量,可以准确地调节放电电压和混合气体,所有工作条件下(包括Burst模式)都保持恒定的输出能量。脉冲与脉冲间稳定性优于1%。

恒定指向稳定性:高稳定性的核心光学元件支架,提供优于200μrad的指向稳定性,确保光学维修后不需要重新校准。

恒定光束质量:IPEX-740/760系列激光器的光束强度分布被设计为边缘陡峭,顶部平坦,保证在激光腔工作寿命内变化极小。


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商品描述

恒定脉冲能量:采用exciPure技术的IPEX-740/760系列准分子激光器,在单次换气后都具有优秀的动态和静态气体寿命。从单次到最大重复频率,脉冲能量在所有重复频率都恒定。这种方法保证了参数不会随激光器工作时间和重复频率的变化而改变。

恒定脉冲稳定性:采用先进的能量监测方式来调节脉冲能量,可以准确地调节放电电压和混合气体,所有工作条件下(包括Burst模式)都保持恒定的输出能量。脉冲与脉冲间稳定性优于1%。

恒定指向稳定性:高稳定性的核心光学元件支架,提供优于200μrad的指向稳定性,确保光学维修后不需要重新校准。

恒定光束质量:IPEX-740/760系列激光器的光束强度分布被设计为边缘陡峭,顶部平坦,保证在激光腔工作寿命内变化极小。




 性能稳定,可信赖的激光器

 特点:

 ◆ 采用exciPure技术,可延长气体寿命,降低运行成本;

 ◆ 优异的光斑均匀性和脉冲与脉冲间能量稳定性,脉冲宽度短;

 ◆ 在所有重复频率下,能量都保持恒定;

 ◆ EasyClean自动密封功能可保持气体填充和减少维修停机时间;

 ◆ 高稳定的光学支架可获得极佳的光束指向精度;

 ◆ 选非稳腔腔镜组件,近场能量可达稳腔时的70%;

 

 参数:

波长


193(ArF)

248(KrF)

308(XeCl)

351(XeF)

最大单脉冲能量(mJ)低重复频率

IPEX-740系列

230

475

300

275

IPEX-760系列

250

700

600

350

平均功率(W)

IPEX-746

15

40

25

22

IPEX-744

7.5

20

12

11

IPEX-742

3.7

10

6.0

5.5

IPEX-766

10

30

25

15

IPEX-764

6.0

18

10

9.0

IPEX-762

3.0

9.0

5.0

4.5

最大重复频率(pps)

IPEX-746

100

100

100

100

IPEX-744

50

50

50

50

IPEX-742

25

25

25

25

IPEX-766

50

50

50

50

IPEX-764

30

30

30

30

IPEX-762

15

15

15

15

脉冲宽度(ns)(FWHM)

12-20

能量稳定性,1 sigma(%)(KrF)

1

光斑(mn)(VxH)

IPEX-740

12x26

IPEX-760

12x28

光束发散角(mrad)(VxH)

IPEX-740

1x3

IPEX-760

1x3




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