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ATLEX-L新型工业级准分子激光器

ATLEX-L新型工业级准分子激光器

新型高重频准分子激光器，专为工业应用设计。

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商品描述

新型高重频准分子激光器，专为工业应用设计。

 主要特点：

 - 全新技术的金属陶瓷腔；

 - 电晕预电离；

 - 固态开关；

 - 特长动态和静态气体寿命（可达几个月）集成真空泵和卤素过滤器；

 - 激光腔体6L；

 - 风冷/水冷可选；

 - 方便清洗的光学镜架；

 - 模块化设计，易维护；

 -  系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口；

 

 特性：

 - 全新的设计，高重频，更适用各种工业应用；

 - 气体寿命比ATLEX-I型有很大提升，镜片寿命更长，维护周期更长；

 - 极快的脉冲上升时间和峰值功率密度；


 技术规格 ：

气体介质

ArF

krF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固体开关


最大脉冲能量1

10

15

mJ

最大平均功率

ATLEX-500-L

ATLEX-1000-L

4.0

8.0

6.5

15

W

W

最大重复频率

ATLEX-500-L

ATLEX-1000-L

500

1000

Hz

Hz

脉冲宽度²

5-8

ns

光斑尺寸²（V x H）

6x4

mm

光束发散角²（V x H）

2x1

mrad

能量稳定性（标准差）

<2

%

尺寸（L x W x H）

600x415x567

mm

重量

70

kg

冷却方式

风冷/水冷可选


电源要求

230VAC / 10A / /1phase / 50-60Hz



 所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。

 - 在最低重复频率情况下测得，能量稳定模式下会有10%的输出能量损失。

 - 典型值, FWHM


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