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ATLEX-L新型工业级准分子激光器

ATLEX-L新型工业级准分子激光器

新型高重频准分子激光器,专为工业应用设计。

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商品描述

新型高重频准分子激光器,专为工业应用设计。


 主要特点:

 - 全新技术的金属陶瓷腔;

 - 电晕预电离;

 - 固态开关;

 - 特长动态和静态气体寿命(可达几个月)集成真空泵和卤素过滤器;

 - 激光腔体6L;

 - 风冷/水冷可选;

 - 方便清洗的光学镜架;

 - 模块化设计,易维护;

 -  系统集成RS485,RS232,USB和FOC接口;

 

 特性:

 - 全新的设计,高重频,更适用各种工业应用;

 - 气体寿命比ATLEX-I型有很大提升,镜片寿命更长,维护周期更长;

 - 极快的脉冲上升时间和峰值功率密度;


 技术规格 :

气体介质

ArF

krF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固体开关


最大脉冲能量1

10

15

mJ

最大平均功率

ATLEX-500-L

ATLEX-1000-L

4.0

8.0

6.5

15

W

W

最大重复频率

ATLEX-500-L

ATLEX-1000-L

500

1000

Hz

Hz

脉冲宽度²

5-8

ns

光斑尺寸²(V x H)

6x4

mm

光束发散角²(V x H)

2x1

mrad

能量稳定性(标准差)

<2

%

尺寸(L x W x H)

600x415x567

mm

重量

70

kg

冷却方式

风冷/水冷可选


电源要求

230VAC / 10A / /1phase / 50-60Hz



 所有规格都是典型的数据,如产品有改进,恕不另行通知更改。

 - 在最低重复频率情况下测得,能量稳定模式下会有10%的输出能量损失。

 - 典型值, FWHM


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