北京超立方科技有限公司
主要特点:
◆ 工业化设计;
◆ 电晕预电离技术;
◆ 固态集成电路;
◆ 先进的激光腔技术;
◆ 能量监控;
◆ 紧凑型结构,占用空间小;
◆ 单相供电;
优点:
◆ 可靠性高;
— 运行于维护费用低于100%负载,既可持续工作。
◆ 光斑能量分布均匀;
◆ 可直接使用,无老化现象;
◆ 全金属密封腔;
◆ 激光腔的寿命长达几十亿次脉冲;
◆ 能量稳定;
◆ 操作方便,易于集成;
◆ 水冷散热;
技术参数
气体介质
ArF
krF
波长(nm)
193
248
最大重复频率(Hz)
500
1000
稳定单脉冲能量(mJ)
8
12
稳定单脉冲功率(W)
4
6.0
能量稳定性(sigma,%)
2
光斑尺寸(FWHM,VxH mm)
6x3
光束发散角(FWHM,VxH mrad)
2x1
脉冲宽度(FWHM,ns)
5-10
5-15
激光腔寿命
大于20亿次脉冲
常规物理参数:
◆ 重量:约80kg;
◆ 制冷方式:水冷;
◆ 供电要求: 230V,50/60Hz,最大需求功率2000W;
◆ 尺寸(L×W×H):560×355×445mm;
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