北京超立方科技有限公司
特性:
每轴行程4毫米;
弯曲设计;- 确保无摩擦的平稳连续运动。
紧凑设计;
增强长期稳定性;
所有调节器均连接至同一基准且侧装;
NanoMax平行柔性平台 当将获专利的MAX300系列平行柔性设计应用于需要亚微米级甚至更高分辨率的对准应用时,其优势便一目了然。通常,在多轴叠层平台上,若触碰未接地的两个驱动器中的任意一个,都会导致组件内部出现不希望发生的运动。由于NanoMax系列平台的每个驱动器都直接耦合到平台底座,因此可消除这些不利影响。
货号
MAX310系列
旅行
4.0 毫米
最大承载能力
2.2 磅(1 千克)
粗调范围
0.5 毫米/转
精调
50 微米/转(300 微米范围)
压电规格(仅适用于MAX311和MAX312)
压电电压范围
0 - 75 V
压电量程
20 µm
压电分辨率(理论值)
20 nm(带应变片时为5 nm)
压电双向重复性
200 nm 开环,5 纳米闭环
压电绝对轴向精度
1.0 微米
固定差分驱动 固定式差动驱动器具有4毫米的粗调行程,以及300微米的精调行程范围,分辨率为每转50微米。在粗调和精调行程上刻制的刻度线为需要绝对定位的应用提供了清晰的参考点。
可选闭环内部压电执行器 MAX311和MAX312内置了直接集成于平台主体的压电致动器,可实现20 µm的行程范围,位置分辨率高达20 nm。此外,MAX311还配备了三个应变片式位移传感器,这些传感器可提供与压电元件位移呈线性关系的电压信号。该信号用于补偿所有压电元件固有的迟滞、蠕变和热漂移现象。如果由闭环控制器驱动(例如BPC203, MPZ601或TPZ001与TSG001的组合),压电执行器可采用反馈模式进行控制,从而将位置分辨率从20纳米提升至5纳米。此外,通过这种闭环控制,还可对压电元件所特有的迟滞、蠕变和漂移现象进行监测与补偿。
此外,当该平台与BNT001、MNA601或TNA001NanoTrak控制器耦合时,该系统将成为一种功能强大的自动对准解决方案,可保持光学通量,并消除因热漂移或其他外部因素导致的耦合效率下降。
配件轻松对齐
顶部平台中央的键槽可实现系统的快速重新配置,同时保持配件对齐。A种类丰富的配件可用于安装显微镜物镜、准直组件、波导、光纤等各类元件。如果需要将组件偏心安装,可将带槽顶板替换为RB13P1适配板,该适配板配备了一系列1/4"-20(M6)和#8-32(M4)安装孔。
此外,还有多种适配板可供使用,以便将NanoMax系列平台安装到各种其他Thorlabs旋转平台和长行程线性平台上。这些功能相结合,使MAX300柔性平台成为高稳定性与高重复性对准应用的理想平台。
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