紫外光束轮廓仪由Beamlux II高级软件、符合行业标准的高分辨率相机以及紫外转换管组成。

可选的激光同步装置或触发二极管可用于激光与相机的同步，或进行单脉冲评估。

合适的配件可实现对所有准分子激光束的测量。对由匀化器生成的原始光束及轮廓进行评估，以优化为平顶区域或激光线。

我们光束轮廓仪的主要应用领域是工业中的质量控制以及研发领域的激光改进。它在半导体行业中已被公认为一种可靠工具，可用于控制原始光束及加工平面的光束质量，从而提高效率和生产力。

特性：

• 测量所有准分子激光；

• 在线质量控制；

• 以十分之一秒的精度实时评估激光；

• 可同时同步最多三台摄像头，用于测量原始光束和加工平面；

• 通过TCP/IP远程控制，让您在办公桌前即可操控激光系统；

摄像头系统：

• 高动态范围摄像头；
• 高分辨率紫外转换器；
• 有效区域内的均匀性高达 > 98 %；
• 短衰减时间；
• 损伤阈值高达15 J/cm²；
• 可选单脉冲检测，最高可达1 kHz（受限于转换器的衰减时间）；